在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，投影光刻機(jī)作為核心工藝設(shè)備，其工作環(huán)境對(duì)振動(dòng)控制的要求極為苛刻。SSB260/20T型投影光刻機(jī)憑借高精度和高速運(yùn)算能力在光刻過程中實(shí)現(xiàn)微米級(jí)圖案轉(zhuǎn)移，而微小的機(jī)械振動(dòng)都可能導(dǎo)致圖案偏移和工藝缺陷。因此，采用高性能的減震系統(tǒng)成為確保設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵技術(shù)。SDS橡膠波紋減震器正是在這種需求背景下誕生，其通過獨(dú)特的波紋橡膠結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效吸收和隔離振動(dòng)能量，保障光刻過程中的精密控制。
SDS橡膠波紋減震器主要由內(nèi)膠層、加強(qiáng)布層和外膠層構(gòu)成，外觀呈現(xiàn)出均勻的波紋結(jié)構(gòu)。這種設(shè)計(jì)不僅賦予了減震器優(yōu)異的柔性和彈性，同時(shí)大大提高了其承載能力和耐疲勞性能。工作時(shí)，當(dāng)設(shè)備受到機(jī)械振動(dòng)或沖擊時(shí)，波紋結(jié)構(gòu)可以迅速變形，通過橡膠的內(nèi)聚能量將振動(dòng)能量轉(zhuǎn)化為熱能，從而有效降低振動(dòng)幅度，防止其傳遞至光刻機(jī)的核心光學(xué)系統(tǒng)。
在SSB260/20T型投影光刻機(jī)中，SDS橡膠波紋減震器發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。首先，減震器能夠在低頻和高頻振動(dòng)范圍內(nèi)均實(shí)現(xiàn)有效隔離，確保設(shè)備在啟動(dòng)、運(yùn)轉(zhuǎn)及停止過程中始終保持穩(wěn)定狀態(tài)。其次，波紋結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得減震器具有較大的相對(duì)位移補(bǔ)償能力，可以適應(yīng)設(shè)備在運(yùn)行過程中因熱膨脹或安裝誤差引起的微小變形，從而維持光刻機(jī)各部件之間的精確對(duì)位。與此同時(shí)，其出色的抗老化性能和耐高溫特性，保證了設(shè)備在長時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)下依然能夠維持穩(wěn)定的減震效果，延長了設(shè)備的使用壽命。
